主动风环布局接纳双风口,此中优势口风量坚持恒定,优势口圆周上分红多少个风道,每一个风道由风室、阀门、机电等构成。由机电驱动阀门调剂风道启齿度,节制各风道的风量巨细。节制进程中,经由进程测厚探头检测到薄膜厚薄旌旗灯号传递到计较机,计较机将该厚薄旌旗灯号与以后设定的均匀厚度停止比拟,按照厚薄误差和曲线变更趋向停止运算,节制机电驱动阀门挪动,薄膜较薄时,机电正向挪动,风口调小;相反,当机电反向挪动时,风口增大,经由进程转变风环圆周上各点的风量巨细来调剂各点冷却速率,使薄膜横向厚薄误差节制在方针规模内。
以上便是
白菜
装备的根基道理。